精密ステージ　吸着テーブル　石定盤の再生研磨

精密ステージ　吸着テーブル　石定盤の再生研磨を承っております。

新規製作も対応可能です。

対応材質

金属全般、セラミックス、石定盤、石英ステージなど

対応サイズ

研削盤サイズ：1500*600mm

ラップ盤サイズ：直径1メートル程度

精度

500mm角以下程度のサイズにおいては平面度0.001mm（1ミクロン）以下にて保障

検査データを添付いたします。

測定器一例　（平面度：三次元測定器、レーザー干渉計など、ご要求の精度や材質・形状に合わせて最適の測定器をご提案いたします。）

短納期での対応もご相談ください。

1点から対応します。お見積もりなどお気軽にお問い合わせ下さい。