ブルカー製「Dimension Icon」

このページでは、TDCで使用している測定機、ブルカー社の「Dimension Icon」について解説をします。

Dimension Iconとは

「Dimension Icon」とは、ブルカー社製の高性能大型試料用原子間顕微鏡（AFM）です。

Dimension Iconの特長

AFM（Atomic Force Microscope：原子間力顕微鏡）とは走査プローブ顕微鏡の一種で、微細な探針を膜の表面上で走査し、試料の表面と探針の原子間にはたらく力を電気信号に変える事で表面の形状を観察します。ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法であり、 金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能です。

Dimension Iconの仕様

大型試料測定、高分解能、操作性、多機能、拡張性のすべてのニーズに合致し、従来製品を遙かに凌駕したAFM（原子間力顕微鏡）です。超低ノイズ・低ドリフトのクローズドループスキャナー搭載。更に新技術のPeakForce Tapping技術によりワンプッシュオペレーションを可能にしたScanAsyst機能及び定量的機械特性マッピング機能のPeakForce QNMを搭載可能にした画期的AFMです。

参照：https://www.bruker-nano.jp/20200312154845

ブルカーコーポレーション

ブルカーとは、初のNMR分光計の開発を実験用磁石と電源の製造からスタートした企業で、1960年に設立。アメリカ合衆国マサチューセッツ州ビレリカを拠点に、世界をリードする分析機器を展開しています。

TDCで使用する「Dimension Icon」

TDCでは、Dimension Icon（AFM）を用いて、面粗さの測定データを添付します。

主にウエハや試験片などの薄くて平らな基板を測定しています。その他、ダイヤモンド鏡面基板や接合部品の試験片も測定実績があります。
測定のみのご依頼も承っておりますので、ぜひTDCまでお気軽にお問い合わせください。

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