キーエンス測定機

TDCで扱うKEYENCE(キーエンス)の測定器

このページでは、TDCでも取り扱いのあるKEYENCE(以降キーエンス)社製の測定器について解説をします。

TDCで扱っているキーエンスの測定器

TDCでは、以下のキーエンス測定器を導入しております。

機種名詳細
GT2-H12KL高精度接触式デジタルセンサ
VHX-6000 デジタルマイクロスコープ
LM-1000 画像寸法測定器

その他のTDCで扱う測定器については、『測定機器』ページをご確認ください。

高精度接触式デジタルセンサGT2シリーズ「センサヘッド 高精度/低測定力タイプ GT2-H12KL」

KEYENCE(キーエンス)の測定器「高精度接触式デジタルセンサGT2シリーズ「センサヘッド 高精度/低測定力タイプ GT2-H12KL」」
型式GT2-H12KL
検出方式スケールショットシステム アブソリュート (値飛びなし) タイプ
測定範囲12 mm
分解能0.1 µm
指示精度1 µm (P-P) ※1
測定力下向き設置時:0.4 N ※2
横向き設置時:0.3 N ※2
上向き設置時:0.2 N ※2
サンプリング周期1 ms
機械的応答性4 Hz ※3
動作表示灯2 色 LED (赤、緑)
耐環境性保護等級:-
使用周囲温度:-10 ~ +55 ℃ (氷結しないこと)
使用周囲湿度:35 ~ 85 % RH (結露しないこと)
耐振動:10 ~ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間
耐衝撃:1,000 m/s2 (IEC60068-2-27)
材質材質本体:本体ケース亜鉛ダイカスト、表示灯ポリアリレート (PAR)
ダストブーツ:-
接触子:SUS304、超硬タングステン合金 ※4
ヘッドケーブル別売 (M8 コネクタに接続)
質量約 95 g (ケーブル別)
  • ※1:測定範囲全域、周囲温度 20 ℃ の時の値です。
  • ※2:測定中心値付近での代表値です。なお、測定力はダストブーツの取り付け状態により変化しますので、ご注意ください。
  • ※3:周囲温度 20 ℃ の時の値です。
  • ※4:接触子は別売りオプションでもご用意しています。

参照: センサヘッド 高精度/低測定力タイプ – GT2-H12KL | キーエンス

デジタルマイクロスコープVHX-6000シリーズ「デジタルマイクロスコープ VHX-6000」

※現在は生産終了

KEYENCE(キーエンス)の測定器「高精度 画像寸法測定器LM シリーズ「コントローラ LM-1000」」
型番VHX-6000
カメラ撮像素子:1/1.8型 CMOSイメージセンサ 実効画素 1600(H)×1200(V)
走査方式:プログレッシブ
フレームレート:50F/s(max.)
ハイダイナミックレンジ:RGB各画素16 bit階調
ゲイン:オート、マニュアル、プリセット
電子シャッタ:オート、マニュアル、1/60、1/120、1/250、1/500、1/1000、1/2000、1/5000、1/9000、1/19000
スーパーチャージシャッタ:0.02 s~4 s
ホワイトバランス:プッシュセット、オート、マニュアル、プリセット(2700K、3200K、5600K、9000K)
バックフォーカス調整:不要
液晶モニタサイズ:カラー液晶(IPS型) 23型 ※1
画面サイズ:509.184(H)×286.416(V) mm ※1
画素ピッチ:0.2652(H)×0.2652 mm(V) ※1
画素数:1920(H)×1080(V)(FHD)*1
表示色:約1677万色21
輝度:300 cd/m2(Center 1 Point,typ.) ※1
コントラスト比:1000:1(typ.)*1
視野角:±89゜ (typ.左右)、±89゜ (typ.上下) ※1
光学記録ユニット/ハードディスクドライブユニットユニット:DVD-ROMスーパーマルチドライブユニット
使用ディスク:CD-R/CD-RW/DVD±R/DVD±R DL/DVD±RW/DVD-RAM
録画容量:8.7GB(DVD±R DL使用時)
ハードディスクドライブユニット:500GB(内165GB予約領域)約1,680,000枚(200万画素画像圧縮時)~約55,000枚(200万画素画像非圧縮時)
画像形式圧縮時:JPEG 非圧縮時:TIFF
対応画像サイズ20000(H)×20000ピクセル(V)(連結時)
光源ランプ:高輝度LED
ランプ寿命:40000時間(参考値)
色温度:5700K(yp.)
映像出力出力方式:DVI-I 1920×1080ピクセル
走査周波数:専用液晶モニタ/外部モニター 水平(H):66 kHz 垂直(V):60 Hz
入力マウス入力:USBマウス対応
キーボード入力:USBキーボード対応
外部リモート入力:静止/撮影 無電圧入力(有/無接点)
インターフェイスLAN:RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
USB2.0 シリーズA:6系統
USB3.0 シリーズA:2系統
電源電源電圧:AC100-240 V 50/60 Hz
消費電力:280 VA
耐環境性使用周囲温度:+5 ~ +40 ℃
使用周囲湿度:35 ~ 80 % RH (結露しないこと)
質量コントローラ部:約12.5kg
カメラユニット:約1.2 kg(VHX-6100/6020)
コンソール:約0.5 kg
外形寸法図(突起部除く)幅550×高さ470×奥行200 mm(収納時)
  • ※1:本機に搭載されている液晶モニタは非常に高度な技術で作られています。ごく一部に非点灯(黒点)や常時点灯(輝点)などの表示が存在することがありますが故障ではありません。
  • ※2:ディスプレイコントローラのFRC処理により約1677万色を表現

参照: デジタルマイクロスコープ – VHX-6000 | キーエンス

高精度 画像寸法測定器LM シリーズ「コントローラ LM-1000」

KEYENCE(キーエンス)の測定器「高精度 画像寸法測定器LM シリーズ「コントローラ LM-1000」」
型式LM-1000
種類コントローラ
撮像素子1型 2000万画素 モノクロCMOS
ディスプレイ10.4型 LCDモニタ(XGA: 1024 × 768)
受光レンズダブルテレセントリックレンズ
画像測定視野:
広視野測定モード225 mm × 125 mm
高精度測定モード206 mm × 106 mm
最小表示単位:0.1 µm
繰り返し精度:
視野内(2σ)広視野測定モード±0.5 µm
視野内(2σ) 高精度測定モード±0.1 µm
ステージ移動ありX・Y軸±0.9 µm
ステージ移動ありXY平面±0.9 µm
測定精度:
視野内(2σ)広視野測定モード±2 µm ※1
視野内(2σ)高精度測定モード±0.7 µm ※2
ステージ移動ありX・Y軸(EUX,MPE、EUY,MPE)±(1.8 + 0.02 L) µm ※3
ステージ移動ありXY平面(EUXY,MPE)±(2.8 + 0.02 L) µm ※3
高さ測定繰り返し精度:±2 µm
測定精度(EUZ,MPE):±(4.8 + 0.04 L) µm ※4
外部リモート入力無電圧入力(有接点/無接点)
外部出力OK/NG/FAIL/MEAS.:PhotoMOS出力、定格負荷 DC 24 V、0.5 A、ON抵抗 50 mΩ以下
インターフェースLAN:RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
USB 3.1:2系統( 背面2)
USB 2.0 Series A:4系統( 前2、背面2)
モニタ出力:DVI-D
記録ハードディスクドライブ:500 GB
照明系透過:テレセントリック透過照明
落射:4分割マルチアングル照明(電動)、スリットリング(指向性)側射照明(電動)、テレセントリック同軸照明
外部照明制御光量制御:PWM制御 100 kHz
出力電圧:DC 12 V
出力電流:1.6 A(最大)
XYステージ移動範囲:200 mm × 100 mm(電動)
耐荷重:7 kg
Zステージ移動範囲:75 mm(電動)
電源電源電圧:AC100~240 V±10%(50/60 Hz)
消費電力:430 VA以下
耐環境性使用周囲温度:+10~35℃*5
使用周囲湿度:20~80%RH(結露なきこと)
過電圧カテゴリ:Ⅱ
汚染度:2
質量約8 kg
  • ※1:□20 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
  • ※2:□5 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
  • ※3:ISO10360-7を参考、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき、LはXYステージ移動量(mm)
  • ※4:ISO10360-7を参考、使用周囲温度+23 ±1℃、測定最大高さ設定50 mm以下のとき、LはZステージ移動量(mm)
  • ※5:XYステージ移動速度80 mm/sのときは+15~35℃

参照: コントローラ – LM-1000 | キーエンス

キーエンスとは

キーエンスとは、1974年設立の各種センサー・測定器の製造メーカーで、画像処理機器、制御・計測機器、研究開発用解析機器やビジネス情報機器などの開発・販売を行う企業です。

1990年には東証1部に株式を上場し、2018年3月期には売上高5,268億円、従業員数6,602名を抱える大企業です。

関連ページ