代表 赤羽のウルトラファインバブル研究論文が「砥粒加工学会誌」に掲載されました

当社代表赤羽のウルトラファインバブルに関する研究論文が砥粒加工学会誌に掲載され、東北大学グリーンクロステック研究センターと共同プレスリリースに至りました。

東北大学グリーン未来創造機構 グリーンクロステック研究センターの水谷正義教授、株式会社ティ・ディ・シーの赤羽優子氏（東北大大学院生）らの研究グループは、研磨工程における環境負荷低減を目指し、ウルトラファインバブル（UFB、ナノバブル）を研磨助剤として利用する新手法の有効性を実証しました。半導体やMEMS製造では表面を原子レベルで平滑化するため、多量の化学薬品（研磨助剤）が用いられますが、廃液処理や洗浄コストが課題です。

本研究では、UFBが圧壊する際に生じる反応性種の作用で表面を微細に酸化・脆化させ、削り取りやすくする「表面改質」メカニズムを検証しました。3GeV高輝度放射光施設NanoTerasuの硬X線光電子分光（HAXPES）により、極薄の表面改質層を高精度に評価した結果、炭素鋼およびアルミニウム合金で研磨に適した改質層（脆性層）が顕著に形成されることを確認しました。UFBが化学薬品の代替となる研磨助剤として機能し得る可能性を、科学的に示した成果です。

本成果は2026年4月10日付で砥粒加工学会誌に掲載されました。今後は適用材料の拡大と装置・プロセス開発を進め、化学薬品に頼らないクリーンな超精密加工技術の実現を目指します。

詳細はプレスリリース記事 (pdf)をご覧ください。

TDCの基本情報