オプティカルナノゲージ

TDCで使用している浜松ホトニクスの『オプティカルナノゲージ』について解説をします。

オプティカルナノゲージとは

オプティカルナノゲージとは、浜松ホトニクス株式会社より提供されている膜厚計のことで、正式名称を『Optical NanoGauge C13027-11』と呼びます。

C13027は分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置で、シリーズ史上最も薄い10nmの極薄膜測定にも対応。最速200Hzの高速測定が可能なため、高速ラインでの測定にも対応することができます。

オプティカルナノゲージC13027の特長

●シーケンサ接続に対応
●タクトタイムを短縮（最速200 Hz）
●10 nmの薄膜測定に対応
●膜厚と色の同時計測可能
●小型化（設置面積30 ％減 ： C12562と比較）
●広波長対応（400 nm～1100 nm）
●ソフトウエアに簡易計測を搭載
●両面解析が可能
●高さ変動に強い
●光学定数（n、k）解析
●マッピングに対応

引用元：Optical NanoGauge 膜厚計 C13027-11 | 浜松ホトニクス

オプティカルナノゲージC13027の仕様

型名	C13027-11
測定膜厚範囲 （ガラス）	10 nm～100 μm ※1
測定再現性 （ガラス）	0.02 nm ※2 ※3
測定精度 （ガラス）	±0.4 ％ ※3 ※4
光源	ハロゲン光源
測定波長範囲	400 nm～1100 nm
スポットサイズ	約φ1 mm ※3
ワーキングディスタンス	10 mm ※3
測定可能層数	最大10層
解析	FFT解析、フィッティング解析、光学定数解析、色解析
計測時間	3 ms/point ※5
ライトガイドコネクタ形状	FC
外部通信機能	RS-232C、Ethernet
電源	AC100 V～AC240 V、50 Hz/60 Hz
消費電力	約80 VA

• 出力信号：
  アナログ出力 0 V～10 V / ハイインピーダンス　1チャンネル
  アラーム出力 TTL / ハイインピーダンス　1チャンネル
  ラーニング出力 TTL / ハイインピーダンス　1チャンネル
• 入力信号：
  計測開始信号TTL / ハイインピーダンス　1チャンネル

※1　ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
※2　400nm厚さのガラス膜測定時の標準偏差。
※3　使用する光学系または対物レンズの倍率による。
※4　VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
※5　最短露光時間。

引用元：Optical NanoGauge 膜厚計 C13027-11 | 浜松ホトニクス

浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクスは、「光を使いこなす技術を開発して社会に役立てる」という理念のもと、光センサや各種光源（ランプ）、光半導体素子、ライフサイエンスや半導体装置、レーザ技術などの研究、開発、製造、販売を主な事業とする企業です。

とくに光の基礎研究やその可能性を追求する応用研究まで、光に関する幅広い研究に力を入れ、中央研究所や筑波研究センター、産業開発研究センターの3つの拠点が設立されています。

TDCで使用するオプティカルナノゲージ

TDCでは、以下のオプティカルナノゲージ機種を使用しています。

• オプティカルナノゲージ C13027
  分光干渉式非接触膜厚測定機

高精度な膜厚を管理する際使用します。ラッピングで少しずつ削り、加工者自ら測定を行い、この工程を繰り返しながら、同面内で均一な膜厚を実現します。

その他のTDCで扱う測定器については、『測定機器』ページをご確認ください。

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