
オプティカルナノゲージ
TDCで使用している浜松ホトニクスの『オプティカルナノゲージ』について解説をします。
オプティカルナノゲージとは
オプティカルナノゲージとは、浜松ホトニクス株式会社より提供されている膜厚計のことで、正式名称を『Optical NanoGauge C13027-11』と呼びます。
C13027は分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置で、シリーズ史上最も薄い10nmの極薄膜測定にも対応。最速200Hzの高速測定が可能なため、高速ラインでの測定にも対応することができます。
オプティカルナノゲージC13027の特長
●シーケンサ接続に対応
●タクトタイムを短縮(最速200 Hz)
●10 nmの薄膜測定に対応
●膜厚と色の同時計測可能
●小型化(設置面積30 %減 : C12562と比較)
●広波長対応(400 nm~1100 nm)
●ソフトウエアに簡易計測を搭載
●両面解析が可能
●高さ変動に強い
●光学定数(n、k)解析
●マッピングに対応
オプティカルナノゲージC13027の仕様
型名 | C13027-11 |
測定膜厚範囲 (ガラス) | 10 nm~100 μm ※1 |
測定再現性 (ガラス) | 0.02 nm ※2 ※3 |
測定精度 (ガラス) | ±0.4 % ※3 ※4 |
光源 | ハロゲン光源 |
測定波長範囲 | 400 nm~1100 nm |
スポットサイズ | 約φ1 mm ※3 |
ワーキングディスタンス | 10 mm ※3 |
測定可能層数 | 最大10層 |
解析 | FFT解析、フィッティング解析、光学定数解析、色解析 |
計測時間 | 3 ms/point ※5 |
ライトガイドコネクタ形状 | FC |
外部通信機能 | RS-232C、Ethernet |
電源 | AC100 V~AC240 V、50 Hz/60 Hz |
消費電力 | 約80 VA |
- 出力信号:
アナログ出力 0 V~10 V / ハイインピーダンス 1チャンネル
アラーム出力 TTL / ハイインピーダンス 1チャンネル
ラーニング出力 TTL / ハイインピーダンス 1チャンネル - 入力信号:
計測開始信号TTL / ハイインピーダンス 1チャンネル
※1 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
※2 400nm厚さのガラス膜測定時の標準偏差。
※3 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
※4 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
※5 最短露光時間。
引用元:Optical NanoGauge 膜厚計 C13027-11 | 浜松ホトニクス
浜松ホトニクス株式会社
浜松ホトニクスは、「光を使いこなす技術を開発して社会に役立てる」という理念のもと、光センサや各種光源(ランプ)、光半導体素子、ライフサイエンスや半導体装置、レーザ技術などの研究、開発、製造、販売を主な事業とする企業です。
とくに光の基礎研究やその可能性を追求する応用研究まで、光に関する幅広い研究に力を入れ、中央研究所や筑波研究センター、産業開発研究センターの3つの拠点が設立されています。
TDCで使用するオプティカルナノゲージ
TDCでは、以下のオプティカルナノゲージ機種を使用しています。
- オプティカルナノゲージ C13027
分光干渉式非接触膜厚測定機
高精度な膜厚を管理する際使用します。ラッピングで少しずつ削り、加工者自ら測定を行い、この工程を繰り返しながら、同面内で均一な膜厚を実現します。
その他のTDCで扱う測定器については、『測定機器』ページをご確認ください。
関連ページ
- ダイヤルゲージ
- インバー/スーパーインバー
- MEF2022 ご来場いただきありがとうございました
- 2022年度GW休業のお知らせ
- 2022年度の入社式を行いました
- 摩擦試験を実施しました
- 日本科学未来館『INHERIT ~はやぶさ2・宙(そら)への夢と挑戦をのせて』にティ・ディ・シーが登場します
- 日本クリエイション大賞2021「オンリーワン技術賞」受賞式
- 3/16(水)に発生した地震の影響について(3/17 11:30現在)
- ハステロイ
- 【祝】第14回岩木賞を受賞しました
- 【講演会のご案内】次世代放射光はナノの世界の顕微鏡
- ニオブ
- 【祝】日本クリエイション大賞2021
- 【ご来場御礼】MEMSセンシング&ネットワーキングシステム展2022
- タンタル
- エンジニアリングプラスチック(エンプラ)
- 【終了】本日よりMEMSセンシング展開催です!
- グリーンイノベーションシンポジウムにて代表の赤羽が講演を行います
- 新年あけましておめでとうございます。
- 大正製薬様からリポビタンDを頂きました!
- ブルカー製「Dimension Icon」
- 加工設備増設のお知らせ
- 年末年始休暇のお知らせ
- TDCで使用するMitutoyo(ミツトヨ)の測定器
- オプティカルナノゲージ
- タリサーフ
- タリロンド
- 第14回岩木賞を受賞しました
- 【ご案内】砥粒加工学会オープンセミナーにて代表の赤羽が講演を行います
- TDCで使用するKEYENCE(キーエンス)の測定器
- TDC代表の赤羽優子が第41回(2021年度)精密工学会技術賞を受賞しました
- 精密機械加工費用の相場は?加工費用の考え方やコストダウンさせる方法
- 夏季休業のお知らせ
- 「令和3年度 中小企業応援士」として弊社代表取締役社長・赤羽優⼦が委嘱を受けました
- 中小機構による令和3年度「功労者感謝状」を弊社代表取締役社長・赤羽優⼦がいただきました
- TDCの技術者が「科学技術分野の文部科学大臣表彰」を受賞しました
- TDC代表・赤羽優子がForbesJAPANに取材いただきました
- ZYGO干渉計の導入について
- Forbes Japan “Small Giants Award”
- 次世代放射光施設での平滑性評価について
- 第8回TDCWeb展示会「研磨実績がある材質」のご紹介
- TDCフィットネスセンターが完成しました
- 2021年入社式
- 2021年3月11日
- 日経nextストーリ―
- 2月13日発生の地震について
- 潜入!カンパニー
- テレビ放映のお知らせ
- 富県宮城グランプリ