オプティカルナノゲージ
TDCで使用している浜松ホトニクスの『オプティカルナノゲージ』について解説をします。
オプティカルナノゲージとは
オプティカルナノゲージとは、浜松ホトニクス株式会社より提供されている膜厚計のことで、正式名称を『Optical NanoGauge C13027-11』と呼びます。
C13027は分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置で、シリーズ史上最も薄い10nmの極薄膜測定にも対応。最速200Hzの高速測定が可能なため、高速ラインでの測定にも対応することができます。
オプティカルナノゲージC13027の特長
●シーケンサ接続に対応
●タクトタイムを短縮（最速200 Hz）
●10 nmの薄膜測定に対応
●膜厚と色の同時計測可能
●小型化（設置面積30 ％減 ： C12562と比較）
●広波長対応（400 nm～1100 nm）
●ソフトウエアに簡易計測を搭載
●両面解析が可能
●高さ変動に強い
●光学定数（n、k）解析
●マッピングに対応
オプティカルナノゲージC13027の仕様
| 型名 | C13027-11 |
| 測定膜厚範囲 （ガラス） | 10 nm～100 μm ※1 |
| 測定再現性 （ガラス） | 0.02 nm ※2 ※3 |
| 測定精度 （ガラス） | ±0.4 ％ ※3 ※4 |
| 光源 | ハロゲン光源 |
| 測定波長範囲 | 400 nm～1100 nm |
| スポットサイズ | 約φ1 mm ※3 |
| ワーキングディスタンス | 10 mm ※3 |
| 測定可能層数 | 最大10層 |
| 解析 | FFT解析、フィッティング解析、光学定数解析、色解析 |
| 計測時間 | 3 ms/point ※5 |
| ライトガイドコネクタ形状 | FC |
| 外部通信機能 | RS-232C、Ethernet |
| 電源 | AC100 V～AC240 V、50 Hz/60 Hz |
| 消費電力 | 約80 VA |
- 出力信号：
アナログ出力 0 V～10 V / ハイインピーダンス 1チャンネル
アラーム出力 TTL / ハイインピーダンス 1チャンネル
ラーニング出力 TTL / ハイインピーダンス 1チャンネル - 入力信号：
計測開始信号TTL / ハイインピーダンス 1チャンネル
※1 ガラスの屈折率を1.5で換算した場合。
※2 400nm厚さのガラス膜測定時の標準偏差。
※3 使用する光学系または対物レンズの倍率による。
※4 VLSI Standards 測定保証書記載の測定保証範囲。
※5 最短露光時間。
引用元：Optical NanoGauge 膜厚計 C13027-11 | 浜松ホトニクス
浜松ホトニクス株式会社
浜松ホトニクスは、「光を使いこなす技術を開発して社会に役立てる」という理念のもと、光センサや各種光源（ランプ）、光半導体素子、ライフサイエンスや半導体装置、レーザ技術などの研究、開発、製造、販売を主な事業とする企業です。
とくに光の基礎研究やその可能性を追求する応用研究まで、光に関する幅広い研究に力を入れ、中央研究所や筑波研究センター、産業開発研究センターの3つの拠点が設立されています。
TDCで使用するオプティカルナノゲージ
TDCでは、以下のオプティカルナノゲージ機種を使用しています。
- オプティカルナノゲージ C13027
分光干渉式非接触膜厚測定機
高精度な膜厚を管理する際使用します。ラッピングで少しずつ削り、加工者自ら測定を行い、この工程を繰り返しながら、同面内で均一な膜厚を実現します。
その他のTDCで扱う測定器については、『測定機器』ページをご確認ください。
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