設備一覧

TDCではラップ盤のほかにも各種加工機を保有することにより総合的な超精密ものづくりが可能な体制を整えております。
材料調達から鏡面仕上げまで、ご用命は一個から大量生産まで承ります。

加工設備

 サイズ数量
片面ラップ盤
鏡面加工機
12インチ~63インチ
(対応可能サイズ ~φ800㎜程度)
90台
両面ラップ機5B~16B
(対応可能サイズ ~φ250㎜程度)
15台
CMPマシン18インチ~36インチ
(対応可能サイズ ~φ305mm程度)
3台
平面研削盤ナガセインテグレックス1500×6001台
平面研削盤 岡本工作機械 600×300 1台
平面研削盤 岡本 工作機械 600×400 1台
平面研削盤 岡本 工作機械 600×500 1台
長尺金属箔鏡面加工機~W270×m 2台
ロータリー研磨機三進精機 φ750 2台
スライシングマシン 岡本工作機械 420 200×350 3台
スライシングマシン 岡本工作機械 3G 200×350 2台
工作機械各種マシニングセンター 400×200 5台
フライス盤 250×1,000 3台
旋盤 φ80~φ180 5台

クリーン環境

加工品へのパーティクルの付着を防ぎ、品質を保持するためにクリーン環境を導入しています。

日本エアーテッククリーンブース ISOクラス3(対象粒径0.1μm) 6600*3550*h2700
興研株式会社テーブルコーチ KOACH T500-Fクリーンベンチ(清浄度ISOクラス1)

測定機器

TDCでは信頼できるメーカーの優れた高性能測定機器を各種保有し、
超精密ものづくりの品質保証を実現しています。

※一部を除き、TDCの測定器は恒温室(21±1℃及び21±2℃の3部屋)に設置されています。

ブルカーDimension Icon SPMシステム(8インチ対応)原子間力顕微鏡(AFM)
浜松ホトニクスOptical nano gauge C13027分光干渉式非接触膜厚測定機
テーラーホブソンタリサーフCCI3000, CCI SunStar非接触式 表面粗さ計
ミツトヨサーフテストSV400, SJ400接触式 表面粗さ計
溝尻光学レーザー干渉計,
FT-200U, FT-100U, FT-75U
平面度測定器
テーラーホブソンタリロンド395高精度 真円度測定機
ミツトヨCNC三次元測定器LEGEX9106超高精度・
高速駆動 三次元座標測定器
ミツトヨCNC三次元測定器 CRYSTA-Apex高精度 三次元座標測定器
ミツトヨユニバーサル測定顕微鏡MF-UB2010D
(200*100,Z=150)
 
ミツトヨレーザーホロゲージLGH0.01μm
スーパーライトマチックVL-50AH
高精度 リニヤ測長器
FAROレーザートラッカーレーザー式広範囲
三次元座標測定器
テーラーホブソンタリベル5精密電子水準器
ニコン工具顕微鏡 
ライカS9実体顕微鏡
VisionMANTIS実体顕微鏡 
ミツトヨマイクロメータ、ノギス、ゲージブロック等多数 

CNC 三次元測定機 LEGEX9106

CNC 三次元測定機 CRYSTA-Apex

テーラーホブソン タリサーフ CCI Sunstar

ミツトヨ ユニバーサル測定顕微鏡 MF-UB2010D

溝尻光学 レーザー干渉計

テーラーホブソン 真円度測定器:タリロンド395

ブルカー:Dimension Icon SPMシステム(8インチ対応):原子間力顕微鏡(AFM)

ミツトヨ スーパーライトマチックVL-50AH

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