ZYGO干渉計の導入について
株式会社TDC（ティ・ディ・シー）では2021年4月に、加工精度および測定技術向上のため、大型サイズの平面度が計測できる直径18インチのZYGO製レーザー干渉計を導入いたしました。
これにより、従来の最大10倍に相当する10～20ナノメートルの高精度で、平面度を計測することが可能に。半導体製造装置部品や光学望遠鏡向けなど、より高精度なモノづくりを目指し活用して参ります。
導入機器の詳細については、以前からTDCで扱っておりましたZYGO製表面粗さ測定機とあわせて、以下にてご紹介いたします。
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ZYGO 18インチ 波長変調タイプ干渉計
18インチ対応の大型干渉計は、 大きな面積の平面度を高精度に計測することが可能です。
平面原器18インチ用でλ/25、6インチ用の原器がλ/40と言うもので、非常に信頼性が高い測定機です。 実際にお使いになる室内環境に応じ、測定室の温度も変更可能です。
ZYGO 18インチ 波長変調タイプ干渉計のシステムスペック
| 面精度 | λ/25 PVr |
| 対応反射率 | 4%-99% |
| 測定対象 | 平面、裏面 |
ZYGO 18インチ 波長変調タイプ干渉計の優位性
1.面精度λ/25 PVr
- 18インチ Verであるため、300mmを越える基板に対しても全面保証が可能です。
- 18インチ参照面の面精度がλ/25 PVrの参照面で測定します。
参照面がλ/25 PVrのため λ/10レベルの高精度部品を評価する際にも申し分ないスペックです。
旧ZYGO製品の参照面の面精度は基本λ/10であり、参照面がλ/10では同スペックの部品に不安が残るかもしれません。
2.対応反射率 4％～99％
- Dynaflectコート原器である事（サンプル対応反射率4％～99％）
右の図のように、通常原器で反射率の高いサンプルを測定しますと、減衰板を間に入れる必要が出てきます。
それにより原器の精度を悪化させる原因になりますが、本機のDynaflectコート原器は反射率の高いサンプルもそのまま測定が可能です。
※その上λ/25精度です
3.平行平板測定可
- Verifire MSTであること
→透明の平行平板の測定が正確に出来るのはVerifire MST装置のみです。
通常の装置で透明の平行平板を測定すると、右の図にようにノイズが出てしまいます。
これにより薄物の大型ガラスなども測定可能となります。
NewView™ 9000
（非接触式 3D形状測定 / 表面粗さ測定機）
本機は高性能3D形状測定・表面粗さ測定機です。 非接触式のため、表面にキズを付けることなく、サブナノ領域をフレキシブルに計測できる評価装置です。 鏡面などの超精密加⼯⾯だけでなく、曇った面や凸凹のある粗⾯まで幅広い表⾯評価に対応し、⾼精度な三次元情報を視覚化、数値化します。 見える化はできる化の第一歩。この計測システムを用いてで更なる高精度を目指してまいります。
TDCの基本情報
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