ブルカー:Dimension Icon SPMシステム(8インチ対応):原子間力顕微鏡(AFM)

測定機器

TDCでは信頼できるメーカーの優れた高性能測定機器を各種保有し、超精密ものづくりの品質保証を実現しています。

※一部を除き、TDCの測定器は恒温室(21±1℃及び21±2℃の3部屋)に設置されています。

テーラーホブソン

機種名 詳細
タリサーフ
CCI SunStar
非接触式 白色レーザー干渉式表面粗さ計
タリロンド395 高精度 真円度測定機

ブルカー

ブルカー:Dimension Icon SPMシステム(8インチ対応)
原子間力顕微鏡(AFM)
機種名 詳細
Dimension Icon
SPMシステム
AFM 原子間力顕微鏡 8インチ対応

ZYGO

ZYGO new view 9000
ZYGO new view 9000 
ZYGO 18inch Large Aperture System
ZYGO 18inch Large Aperture System

機種名 詳細
NewView™ 9000 非接触表面粗さ・形状測定機
18 inch
波長変調タイプ干渉計
レーザー干渉計 Verifire MST
対応反射率:4% – 99%
測定対象:平面、裏面、透過波面、屈折率均質性

TDCで使用しているZYGO製測定機器の詳細はこちら

溝尻光学

溝尻光学 レーザー干渉計
機種名 詳細
平面度測定器
FT-200U
FT-100U
非接触式 レーザー干渉式平面度測定器
平面度測定器
FT-200S
非接触式 フィゾー式干渉計

KEYENCE

機種名詳細
GT2-H12KL高精度接触式デジタルセンサ
VHX-6000 デジタルマイクロスコープ
LM-1000 画像寸法測定器

TDCで使用しているKEYENCE製測定機器の詳細はこちら

ミツトヨ

機種名 詳細
CNC三次元測定器
LEGEX9106
超高精度・高速駆動 三次元座標測定機 X900*Y1000*Z600
CNC三次元測定器
CRYSTA-Apex S7106
高精度 三次元座標測定機 X705*Y1005*Z605
CNC三次元測定器
CRYSTA-Apex S544
高精度 三次元座標測定機 X505*Y405*Z405
ユニバーサル測定顕微鏡
MF-UB2010D
画像測定器  X200*Y100*Z=150
サーフテスト
SJ400
接触式 表面粗さ計

その他、マイクロメータ、デジマチックインジゲーター、ノギス、ゲージブロックなど

TDCで使用しているミツトヨ製測定機器の詳細はこちら

浜松ホトニクス

機種名 詳細
オプティカルナノゲージ
C13027
分光干渉式非接触膜厚測定機



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