測定機器

TDCでは信頼できるメーカーの優れた高性能測定機器を各種保有し、超精密研磨・超精密加工の精度と品質を保証しています。

※一部を除き、TDCの測定器は恒温室（21±1℃及び21±2℃の3部屋）に設置されています。

当社では精密測定のみのご依頼も承っております。
お気軽にご相談ください。
▶ 精密測定

表面粗さ・面粗度

機種名	測定機名	メーカー	サイズ	測定対象
タリサーフCCI SunStar	白色干渉計	テーラーホブソン	150×258mm	表面粗さ
NewView™ 9000	白色干渉計	ザイゴ	150×150mm	表面粗さ 平面度
SJ400	接触式 表面粗さ計	ミツトヨ	–	表面粗さ
Dimension Icon SPMシステム	AFM 原子間力顕微鏡	ブルカー	8インチ	表面粗さ

平面度

機種名	測定機名	メーカー	サイズ	測定対象
NewView™ 9000	白色干渉計	ザイゴ	150×150mm	表面粗さ 平面度
Verifire™ MST	レーザー干渉計	ザイゴ	18インチ	平面度
Verifire™ XL	レーザー干渉計	ザイゴ	φ300	平面度
FT-200U/FT-100U	レーザー干渉計	溝尻光学	φ200・φ100	平面度
FT-200S	フィゾー式干渉計	溝尻光学	φ200	平面度
LEGEX9106	三次元測定機	ミツトヨ	900×1000×600	寸法／平行度 角度／平面度
CRYSTA-Apex　S7106	三次元測定機	ミツトヨ	700×1000×600	寸法／平行度 角度／平面度
CRYSTA-Apex　S544	三次元測定機	ミツトヨ	500×400×400	寸法／平行度 角度／平面度

寸法・平行度・角度

 

機種名	測定機名	メーカー	サイズ	測定対象
LEGEX9106	三次元測定機	ミツトヨ	900×1000×600	寸法／平行度 角度／平面度
CRYSTA-Apex　S7106	三次元測定機	ミツトヨ	700×1000×600	寸法／平行度 角度／平面度
CRYSTA-Apex　S544	三次元測定機	ミツトヨ	500×400×400	寸法／平行度 角度／平面度
MF-UB2010D	測定顕微鏡	ミツトヨ	200×100	寸法／平行度 角度
GT2-H12KL	高精度接触式 デジタルセンサ	キーエンス	–	寸法／平行度
LM-1000/LM-1100	画像寸法測定器	キーエンス	200×100×75※	寸法

※治具設置条件や形状により変動

膜厚測定

機種名	測定機名	メーカー	サイズ	測定対象
C13027（オプティカルナノゲージ）	分光干渉式非接触膜厚測定機	浜松ホトニクス	φ200	膜厚

真円度

機種名	測定機名	メーカー	サイズ	測定対象
タリロンド395 高精度	真円度測定機	テーラーホブソン	Φ300×500mm※	真円度

※治具設置条件により変動

拡大顕微鏡

機種名	測定機名	メーカー	サイズ	測定対象
VHX-6000	デジタルマイクロスコープ	キーエンス	100×100mm	表面観察

その他、マイクロメータ、デジマチックインジゲーター、ノギス、ゲージブロックなどを保有しております。

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