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18inch-Large-Aperture-System

測定機器

TDCでは信頼できるメーカーの優れた高性能測定機器を各種保有し、超精密研磨・超精密加工の精度と品質を保証しています。

※一部を除き、TDCの測定器は恒温室(21±1℃及び21±2℃の3部屋)に設置されています。

当社では精密測定のみのご依頼も承っております。
お気軽にご相談ください。
精密測定

表面粗さ・面粗度

機種名 測定機名 メーカー サイズ 測定対象
タリサーフCCI SunStar 白色干渉計 テーラーホブソン 150×258mm 表面粗さ
NewView™ 9000 白色干渉計 ザイゴ 150×150mm 表面粗さ
平面度
SJ400 接触式 表面粗さ計 ミツトヨ 表面粗さ
Dimension Icon
SPMシステム
AFM 原子間力顕微鏡  ブルカー 8インチ 表面粗さ

平面度

機種名 測定機名 メーカー サイズ 測定対象
NewView™ 9000 白色干渉計 ザイゴ 150×150mm 表面粗さ
平面度
Verifire™ MST レーザー干渉計 ザイゴ 18インチ 平面度
Verifire™ XL レーザー干渉計 ザイゴ φ300 平面度
FT-200U/FT-100U レーザー干渉計 溝尻光学 φ200・φ100 平面度
FT-200S フィゾー式干渉計 溝尻光学 φ200 平面度
LEGEX9106 三次元測定機 ミツトヨ 900×1000×600

寸法/平行度
角度/平面度

CRYSTA-Apex S7106  三次元測定機 ミツトヨ 700×1000×600  寸法/平行度
角度/平面度
CRYSTA-Apex S544 三次元測定機 ミツトヨ 500×400×400 寸法/平行度
角度/平面度

寸法・平行度・角度

 

機種名 測定機名 メーカー サイズ 測定対象
LEGEX9106 三次元測定機 ミツトヨ 900×1000×600 寸法/平行度
角度/平面度
CRYSTA-Apex S7106  三次元測定機 ミツトヨ 700×1000×600  寸法/平行度
角度/平面度
CRYSTA-Apex S544 三次元測定機 ミツトヨ 500×400×400 寸法/平行度
角度/平面度
MF-UB2010D 測定顕微鏡 ミツトヨ 200×100 寸法/平行度
角度
GT2-H12KL 高精度接触式
デジタルセンサ
キーエンス 寸法/平行度
LM-1000/LM-1100 画像寸法測定器 キーエンス 200×100×75※ 寸法

※治具設置条件や形状により変動

膜厚測定

機種名 測定機名 メーカー サイズ 測定対象
C13027(オプティカルナノゲージ) 分光干渉式非接触膜厚測定機 浜松ホトニクス φ200 膜厚
浜松ホトニクス オプティカルナノゲージ
浜松ホトニクス C13027
オプティカルナノゲージ

真円度

機種名 測定機名 メーカー サイズ 測定対象
タリロンド395
高精度
真円度測定機 テーラーホブソン Φ300×500mm※ 真円度

※治具設置条件により変動

テーラーホブソン 真円度測定器:タリロンド395
テーラーホブソン タリロンド395

拡大顕微鏡

機種名 測定機名 メーカー サイズ 測定対象
VHX-6000 デジタルマイクロスコープ キーエンス 100×100mm 表面観察
キーエンス デジタルマイクロスコープVHX-6000
キーエンス VHX-6000

その他、マイクロメータ、デジマチックインジゲーター、ノギス、ゲージブロックなどを保有しております。

TDCの基本情報

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