加工設備
TDCではラップ盤のほかにも各種加工機を保有することにより総合的な超精密ものづくりが可能な体制を整えております。
材料調達から鏡面仕上げまで、ご用命は一個から大量生産まで承ります。
名称 | メーカー | サイズ | 数量 |
片面鏡面ラップ機 | 自社製作 その他のメーカー |
φ12インチ~63インチ 【対応可能サイズ】 ~φ800mm程度 |
90台 |
片面鏡面ラップ機 | フロントラインテクノロジー | φ18インチ 【対応可能サイズ】 ~φ190mm程度 |
10台 |
片面鏡面ラップ機 | フロントラインテクノロジー | φ20インチ 【対応可能サイズ】 ~φ250mm程度 |
2台 |
両面ラップ機 | スピードファム その他 |
5B~16B 【対応可能サイズ】 ~φ300mm程度 |
19台 |
CMPラップ機 | 日本エンギス その他 |
φ18インチ~36インチ 【対応可能サイズ】 ~φ305mm程度 |
3台 |
平面研削盤 | ナガセインテグレックス | 1500×600 | 1台 |
平面研削盤 | 岡本工作機械製作所 | 600×500 | 1台 |
平面研削盤 | 岡本工作機械製作所 | 600×400 | 2台 |
長尺金属箔鏡面加工機 | 自社製作 | W300×L200m | 2台 |
ロータリー研磨機 | 三進精機 | φ750 | 2台 |
ロール外径鏡面機 | 自社製作 | φ500×3000L | 1台 |
ロール外径鏡面機 | 自社製作 | φ250×1500L | 1台 |
ロール外径鏡面機 | 自社製作 | φ200×280L | 6台 |
内径鏡面機 | 自社製作 | φ200×280L | 4台 |
スライシングマシン | 岡本工作機械製作所 | 200×400 | 6台 |
マシニングセンター | ブラザー | 主軸10,000回転仕様 | 2台 |
マシニングセンター | ブラザー | 主軸27,000回転仕様 | 1台 |
CNCターニングセンター | 高橋機械 | 6インチ 12stタレット | 2台 |
CNC旋盤 | 高橋機械 | TNC-L5-LT | 1台 |
NC旋盤 | 高橋機械 | ミニスター L00 φ80 | 1台 |
汎用旋盤 | 森精機 | φ300 | 1台 |
汎用フライス盤 | 牧野フライス製作所 | サイズ・仕様 | 2台 |
クリーン環境
加工品へのパーティクルの付着を防ぎ、品質を保持するためにクリーン環境を導入しています。
HOZAN | クリーンブース | 10m×5m ISOクラス3 (対象粒径0.1μm) |
HOZAN | クリーンブース | 6m×3m ISOクラス3 (対象粒径0.1μm) |
オルガノ | 超純水製造装置 | UC–2600 |
堀場製作所製 | 水質計測装置 | LAQUA WQ330 |
テムテック | ウエハー洗浄装置(バッチ式) | 1台 |
自社製作 | ウエハー洗浄装置(枚葉式) | 1台 |
ELGA | 超純水製造装置 Purelab Chorus |
タンク容量60L |
興研 | クリーンベンチ ISOクラス1 | テーブルコーチ |
日本エアーテック | クリーンルーム | 6m×3.5m ISOクラス3 (対象粒径0.1μm) |