ダイヤモンド研磨イメージ

ダイヤモンドの精密研磨

大阪大学、産業技術総合研究所、当社TDCの3者で国立研究開発法人科学技術振興機構(JST)様よりA-STEPのご支援を受けて技術開発をしているダイヤモンドに対する新たな研磨手法の開発に取り組んでいます。

これまでの研究成果が世界的な科学雑誌Scientifc reportsに掲載されました。 物質中で最も硬いダイヤモンドはダイヤモンドで磨く、というのがこれまで一般的でしたが、割と力づく(高負荷・高温・長時間)の加工のため、例えばシリコンウエハのような薄くて大きい形状の基板には対応できそうもない、という課題がありました。 

わたしたちはこれまでよりも飛躍的に高能率(短時間)かつ低負荷(割れたりキズが付いたりしない)で磨く技術を開発しています。 

 Scientific reports(英文):https://www.nature.com/articles/s41598-020-76430-6 

大阪大学release(和文):プラズマで実現!ダイヤモンドを傷つけず・素早く・磨く – リソウ (osaka-u.ac.jp)

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