TDC代表の赤羽優子が第41回(2021年度)精密工学会技術賞を受賞

TDC代表の赤羽優子が第41回(2021年度)精密工学会技術賞を受賞しました

弊社代表の赤羽優子が『プラズマを援用した大面積単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー研磨技術の開発』により、第41回(2021年度)の精密工学会技術賞(JSPE Technology Award)を受賞しました。
受賞者一覧はこちら(公益社団法人 精密工学会)

今回の賞は(株)ティ・ディ・シー(ダイヤモンド基板研磨の事業化)、大阪大学(プラズマ援用研磨技術の開発)、産業技術総合研究所(大面積モザイク単結晶ダイヤモンド基板の開発)の3グループが共同開発した成果が技術賞の受賞にふさわしいものと評価され、大阪大学の山村教授、 産業技術総合研究所の山田英明氏 、(株)ティ・ディ・シー代表の赤羽優子、技術者2名と共同受賞しました。

 

ダイヤモンド研磨は従来スカイフという研磨方法が使われていたのですが、この方法ではダイヤモンドの砥粒で無理やり削るので、 基板表面にはダメージが入るとともに基板が割れてしまうという問題点がありました。また、ダイヤモンドは硬いので非常に長い研磨時間がかかっていたのですが、我々の研究グループでは、ダイヤモンドよりも軟質な石英ガラス製の回転定盤にアルゴン+酸素プラズマを照射してダイヤモンド基板を押し当てて研磨することで、低研磨圧力でも高能率に良好な表面粗さが得られることを見出し、20 mm角という大面積モザイク単結晶ダイヤモンド基板を10μm/h以上のレートで研磨することに成功しました。

現在、TDCではダイヤモンド基板研磨の受託加工を承っておりますので、ご興味がございましたらぜひお気軽にお問い合わせください。

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