精密測定

このページでは、TDCが実施している精密検査・精密測定についてご紹介します。

TDCでは、寸法測定や表面粗さ測定といった基本的な検査に加え、図面に記載された幾何公差（平面度・真円度など）に基づく高精度な測定・評価も実施可能です。
部品や試作品の品質を確認するための、信頼性の高い測定データをご提供いたします。

TDCの表面粗さ・面粗度実績については、『TDCの表面粗さ実績一覧』『研磨加工で実現可能な精度とは？』のページをご確認ください。

Contents

精密測定とは

精密測定とは、機械部品や材料の寸法・形状・表面状態を、加工中または加工後に高精度で測定・検査することを指します。
製品の品質保証や研究開発のために欠かせない工程であり、寸法公差だけでなく、幾何公差に基づく測定・評価も含まれます。

幾何公差とは、製品の「形状」や「位置関係」に関する誤差の許容範囲を示したものです。
TDCでは、三次元測定機などの高精度機器を用い、以下のような幾何公差の測定に対応しています。

図面で指定された公差枠に対する実測データを正確に取得し、合否判定や数値データとしてご提供可能です。
「部品が図面通りに加工されているか確認したい」「検査成績書を添付して納品したい」といったご要望に、確かな測定結果でお応えします。

TDCでは、独自の技術と長年蓄積したノウハウにより開発した「超精密ラップ・超精密研磨加工」を承っております。加工と測定を組み合わせることで、より高精度な品質保証を実現しています。

加工を伴わない測定のみのご依頼にも柔軟に対応しており、部品の品質検証や試作品評価など幅広い用途でご利用いただけます。
半導体・超精密部材などの製造メーカー様、また大学や研究機関などの多様な分野からご相談をいただいており、さまざまなニーズにお応えしています。

TDCで所有する測定機器については、測定機器のページをご覧ください。

加工物の表面には高さや深さの異なる微細な凹凸が存在します。その起伏の程度を定量化したものが「表面粗さ」です。
製品寿命や機械効率、外観の光沢や手触りに大きく影響する重要な指標であり、超精密加工において欠かせない工程です。

測定方法には以下の2種類があります。

TDCは両方式の測定器を保有しており、あらゆる面粗さ測定に対応が可能となっております。

AFM（Atomic Force Microscope：原子間力顕微鏡）とは、走査型プローブ顕微鏡の一種で、微細な探針で試料表面を走査し、原子間に働く力を電気信号に変換して表面形状を三次元的に観察する装置です。

原子や分子の間に普遍的に働く原子間力を利用するため、導体・半導体・絶縁体を問わず、ナノスケールでの測定が可能です。

TDCでは、「他社にはない、より高精度な平面度」が求められる案件を数多くいただいております。

「三次元測定機」や「レーザー干渉計」を用いて正確に測定し、必要に応じて平面度の修正加工や各幾何公差の精度入れ加工、鏡面加工や試作品の製作なども合わせて対応可能です。

三次元座標測定機を用い、図面や3Dモデルに基づいて寸法を測定します。

小型部品から大型製品まで幅広く対応が可能で、業界を問わず利用される代表的な手法です。

さらに、高精度な測定が可能な形状測定にも対応しており、複雑な形状部品についても正確な評価をいたします。

画像測定機を利用し、非接触による二次元測定を行います。

レーザーを用いた非接触の測定方法では、形状測定、プログラム自動測定、多点測定などが可能です。

精密測定においてよく用いられる表現について、代表的なものをご紹介します。

誤差
測定値から「真の値」を引いた値のことを誤差と呼びます。「近似値」を誤差として取り扱います。
正確さ
偏りが小さいことを指します。真の値と測定値の平均との一致の度合いのことを正確さと呼ぶことがあります。
精密さ
ばらつきが小さいこと。真の値とは関係なく、測定値の一致の度合を示すものとして扱います。
精度
計測器が表す値、または測定結果の正確さと精密さを含めた総合的な呼称として「精度」といいます。
繰返し性
同一の測定対象の同一の測定量を、同一測定者が同一の測定器で短時間のうちに何回か測定を繰返し、個々の測定値が一致する度合いのことを指します。
再現性
同一の測定対象を測定条件を変えて測定を行った場合の、個々の測定値が一致する度合いのことを指します。
反復性
測定対象、測定器、測定条件などを一度変更し、はじめの状態に設定して改めて別の時期に測定をおこなった場合に測定値の一致する度合いのことを指します。