セラミックスの精密研磨加工 | 加工事例と素材の特徴・用途

このページでは、セラミックスの特徴と、TDCにおけるセラミックスの精密加工例をご紹介します。

TDCの精密研磨加工サービスについては、『超精密研磨・超精密加工のサービス』ページもご覧ください。

TDCのセラミックス精密加工

TDCでは、ナノスケールでの超精密加工を得意としており、あらゆる精度・形状にも対応するセラミックス加工をご提供しております。

TDCにおけるセラミックスの精密加工例

TDCにおけるセラミックスの精密加工例をご紹介します。

その他材質についての加工実績は、下記ページよりご覧いただけます。
・TDCの表面粗さ実績一覧

セラミックスの精密加工①：YAGセラミック加工

• 形状：φ150サイズの円板や平板の切断、精度入れ
• 精度：切断や鏡面研磨　表面粗さ Ra0.001um（Ra1nm）、平面度 0.0001mm、厚み公差±0.005mm

セラミックスの精密加工②：アルミナセラミック精度入れ

• 形状：φ600ｘ30t
• 精度：表面粗さ Ra0.01um以下、平面度 0.003mm
  ※表面処理前後の面だし目的

セラミックスの精密加工③：アルミナコーティング品の鏡面仕上げ

• 形状：凸凹面の鏡面加工
• 精度：全面 表面粗さ Ra0.04um以下、取り代0.01mm以下

セラミックスの精密加工④：単結晶SiCのチップ基板研磨加工

• 形状：▢35.1ｘ1.0～1.9t
• 精度：片面研磨 平面度 0.002mm、平行度 0.002mm、表面粗さ Ra0.0003um（Ra0.3nm）以下、厚み公差±0.05mm

セラミックスの精密加工⑤：アルミナ　セラミックスステージ研磨加工

• 形状：φ325ｘ35t
• 精度：両面平面度 0.001mm・片面表面粗さ Ra0.2um以下

TDCのセラミックス精密加工の特徴

TDCのセラミックス精密加工には、以下のような強み・特徴があります。

• 高精度な研磨技術
  TDCが誇る精密研磨技術により、除去量を制御することでナノスケールでの超高精度セラミックス精密加工を実現しています。
  切削や研削などの加工方法と比較しても、対象物に負荷をかけることなく、あらゆる形状への対応が可能です。
• 短納期・特急対応が可能
  100台以上の研磨装置を所有することにより、大量ロットや複雑な加工であっても短納期を実現。
  お急ぎの場合には、「特急対応」でのご相談にも対応させて頂きます。
• 小ロットからでもお気軽にご相談ください
  1個からの小ロットでのご依頼、試作品の製作もお任せください。
• 100台を超える豊富な加工機械を所有
  TDCでは、ラップ研磨機や平面研削盤などの研磨装置を100台以上所有。
  マシニングセンター、フライス盤などの各種加工機も揃えているため、あらゆる加工にも対応が可能です。
• 研磨装置の約半数が自社製
  100台以上ある研磨装置のうち約半数は自社製となり、「低コスト」で「高品質」なモノづくりを実現しています。

精密加工が可能なセラミックス

弊社が得意とする研磨加工・研削加工などのあらゆる加工技術を用い、セラミックスの精密加工を行います。

対応可能な代表的なセラミックスは、以下となります。

• アルミナ
• ジルコニア
• サファイヤ
• シリコン
• 炭化珪素
  ※窒化珪素など溶射などのコーティング面の研磨も可能です。

セラミックスの特徴

セラミックスは、超硬合金に匹敵する高い硬度を持つ素材です。
代表的な工業用セラミックスの特徴として、以下が挙げられます。

• 離型性に優れる
  摩擦係数が低く、SKD鋼や超硬合金よりも滑りやすいため、材料が金型から外れやすく成形精度が安定します。離型剤の使用削減にもつながります。
• 軽量
  比重はSKD鋼の約1/2、超硬合金の約1/3～1/4と軽量です。部品交換なども容易になり、装置負荷やエネルギー消費の低減にも効果があります。
• 高硬度
  SKD鋼の2～5倍、超硬合金と同等以上の硬さを持ち、基礎特性として高い剛性を示します。
• 耐摩耗性が高い
  高硬度であることから、繰り返し使用しても摩耗しにくいため、金型部品や治工具の寿命延長に有効です。
• 熱変位が少ない
  熱膨張が小さいため温度変化による寸法ずれが少なく、精密金型や治具でも高精度を維持できます。
• 耐食性が高い
  酸・アルカリや湿度に強く、腐食しにくいため長期間安定した使用が可能です。メンテナンス負担の軽減にもつながります。

TDCの基本情報

関連ページ