グラッシーカーボン（ガラス状炭素）の精密研磨加工 | 加工事例と素材の特徴・用途

このページでは、グラッシーカーボン（ガラス状炭素）の特徴や用途、TDCで行っているグラッシーカーボン（ガラス状炭素）の精密加工例をご紹介します。

TDCの超精密加工について、下記内容を記載したPDFカタログをダウンロードいただけます。
●表面粗さRa1nmを実現する超精密鏡面加工
●自社開発技術（高精度鏡面ロール・超精密鏡面金属箔・スペーサー／シムなど）
あわせてご覧くださいませ。
TDCカタログ

Contents

TDCのグラッシーカーボン（ガラス状炭素）の精密加工例

TDCにおけるグラッシーカーボン（ガラス状炭素）の精密加工例をご紹介します。
材質に応じた加工ノウハウと、これまで蓄積された研磨加工技術により、あらゆる精度で対応が可能です。他社で断られたグラッシーカーボン（ガラス状炭素）の加工案件も、ぜひ一度TDCにご相談ください。

その他材質についての加工実績は、下記ページよりご覧いただけます。
・TDCの表面粗さ実績一覧

サイズ：ご希望のサイズにて
仕様：Ra1nm以下
材質：グラッシーカーボン
加工内容：ご希望のサイズにてグラッシーカーボンの鏡面基板を製作いたします。また、仕様に応じて、平面度や平行度などの幾何公差を追加した高精度な基板も製作可能です。

グラッシーカーボン（ガラス状炭素）とは、樹脂に熱処理を加えてカーボン化させた黒色ガラス状の炭素素材です。
不活性雰囲気中では3000℃程度まで、空気中でも約400℃程度まで使用可能で、優れた電気伝導性を持つことから、主に半導体分野などで広く用いられています。

グラッシーカーボンには、以下の特徴があります。

【機械的・物理的特性】

【電気的・熱的特性】

【化学的特性】

【その他の特性】

グラッシーカーボンには、以下のメリット・デメリットが挙げられます。

特性	優位性	注意点
耐食性	多くの薬液に対し、高い耐食性をもっています。	空気中では約400℃以上で酸化が進みます。
耐熱性	真空中・不活性雰囲気中では約3,000℃まで使用可能です。	応力がかかる状態では2,500℃を超えると塑性変形が始まります。また、局所的に急激な加熱が行われると、熱応力により破損に至る可能性があります。
清浄性（コンタミネーション）	高純度炭素材料であるため、金属元素による汚染はほぼありません。	材料表面は加工・取り扱いによって汚染される場合があるため、精密洗浄が必須です。

半導体分野で活用されるという点や性質から、グラッシーカーボンは石英ガラスと比較されることも多い素材です。

グラッシーカーボンと石英ガラスを比較した場合、物理特性などにおいて以下のような差が見られます。